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單晶爐

單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)?、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。

滑環(huán)在單晶爐上的應(yīng)用,滑環(huán)
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